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中国电子装备技术开发协会关于《半导体级超高浓度臭氧发生装置》征求意见稿公开征求意见的通知
发布人:中国电子装备技术开发协会 发布时间:2025-09-12

各相关单位:

          由我协会立项的团体标准《半导体级超纯高浓度臭氧发生装置》(立项号:2025-016T-CAEE)已完成标准征求意见稿,按照《团体标准管理规定》(国标委联[2019]1号)规定,现予以公示,意见反馈截止日期为10月11日,如对标准(征求意见稿)有不同意见,请在公示期间填写《征求意见汇总表》,向我协会反馈,电子邮件发送至alabozhizi@163.com (邮件主题请注明:团体标准公示反馈)。

                                                                                                                    中国电子装备技术开发协会

                                                                                                                            2025年9月11日

《半导体级超纯高浓度臭氧发生装置》-编制说明.docx

关于《半导体级超纯高浓度臭氧发生装置》征求意见稿公开征求意见的通知.pdf

团体标准征求意见汇总处理表.docx

团体标准《半导体级超纯高浓度臭氧发生装置》征求意见稿.pdf