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ICS
31
团体标准
T/ZS 0344—2022
数字化无掩模激光直写光刻机
2022-11-11发布
2022-11-17实施
浙江省产品与工程标准化协会 发布
现行
T/ZS 0344—2022
数字化无掩模激光直写光刻机
Digital maskless laser direct imaging lithography machine
公布日期:2022-11-11
发布日期:2022-11-10
实施日期:2022-11-17
所属团体:浙江省产品与工程标准化协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.260 光电子学、激光设备
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C397 电子器件制造 -> C3976 光电子器件制造
研制信息
起草单位
杭州新诺微电子有限公司
中山新诺微电子有限公司
安吉泰熙自动化有限公司
杭州欣俊哲科技有限公司
中山新诺科技股份有限公司
中国计量大学
浙江大学
普赛微科技(杭州)有限公司
纳晶科技股份有限公司
起草人
陈 超
敦士军
王 鹏
尚小兵
唐战备
廖平强
零 萍
王 珺
朱培武
乔家亿
周绍平
简 红
许贝贝
周国尊
康永印
陈锡媛
沈肖蓉
范围
主要技术内容
前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 产品分类 5 工作环境 6 要求 6.1 外观、尺寸和重量 6.2 主要性能 6.3 安全要求 6.4 噪声 7 试验方法 7.1 试验条件 7.2 外观检查及尺寸、重量测量 7.3 性能试验 7.4 安全检查 7.5 噪声试验 8 检验规则 8.1 检验分类 8.2 出厂检验 8.3 型式检验 8.4 判定规则 9 标志、包装、运输、贮存 9.1 标志 9.2 包装 9.3 运输 9.4 贮存
适用范围
是否包含专利
否
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