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ICS
29
团体标准
T/ZJCX 0043—2024
等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
2024-07-29发布
2024-07-24实施
浙江省企业技术创新协会 发布
现行
T/ZJCX 0043—2024
等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
Graphite boat for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment
公布日期:2024-07-29
发布日期:2024-07-23
实施日期:2024-07-24
所属团体:浙江省企业技术创新协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
29 电气工程 -> 29.045 半导体材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C30 非金属矿物制品业 -> C309 石墨及其他非金属矿物制品制造 -> C3091 石墨及碳素制品制造
研制信息
起草单位
浙江华熔科技有限公司
合肥大恒智慧能源科技有限公司
赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司
润马光能科技(金华)有限公司
平顶山东方碳素股份有限公司
河南五星新材科技股份有限公司
浙江华照半导体材料有限公司
山西博翔汇良新材料有限公司
平顶山市博翔碳素有限公司
苏州兆恩精密仪器有限公司
宜兴市希羽陶瓷有限公司
浙江亿值旺新材料科技有限公司
起草人
周志强
陆 斌
王 军
李 祥
鲍宪钧
张 力
何 亮
蔡 帅
李志恒
马二克
胡平安
林龙玉
魏延召
赵世梁
姜昌星
翟 民
赵俊通
樊少璞
任帅许
翟 茜
宋晓珂
张 阳
卢 彬
殷 静
范围
主要技术内容
本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟(简称石墨舟)的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备(PECVD)用石墨舟。
适用范围
是否包含专利
否
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