登录
注册
首页
政策文件
标准化活动
社会团体
团体标准
抽查公示
常见问题
联系我们
首页
>
团体标准
>
团体标准详情
ICS
25
团体标准
T/CI 954—2025
半导体清洗机用兆声波清洗系统
2025-09-03发布
2025-04-01实施
中国国际科技促进会 发布
现行
T/CI 954—2025
半导体清洗机用兆声波清洗系统
Megasonic cleaning system for semiconductor cleaning machines
公布日期:2025-09-03
发布日期:2025-04-01
实施日期:2025-04-01
所属团体:中国国际科技促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.040 工业自动化系统 -> 25.040.01 工业自动化系统综合
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3569 其他电子专用设备制造
研制信息
起草单位
深圳绿源轩电子技术有限公司
中国科学院声学研究所
陕西省超声学重点实验室
深圳职业技术大学超声技术研究所
宁波新芝生物科技股份有限公司
声达半导体设备(江苏)有限公司
正阳融合微电子技术(珠海)有限公司
昆山市超声仪器有限公司
浙江坤搏环保科技有限公司。
起草人
梁珍友
韩琴琴
韩亮亮
林伟军
王成会
龚 涛
肖长锦
陈炯杰
杨正朝
周 吉
黄长斌。
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体清洗机用兆声波清洗系统(以下简称清洗系统)的总体要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。
适用范围
本文件规定了半导体清洗机用兆声波清洗系统(以下简称清洗系统)的总体要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体清洗机用频率为兆赫兹的超声波清洗系统的设计、生产及检验。
是否包含专利
是
{{$t('common.home')}}
>
团体标准
>
团体标准详情
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
{{ detail.standardStatusName }}
{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}
{{ detail.standardNo }}
{{ detail.standardTitleCn }}
{{ detail.standardTitleEn }}
{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}:{{ detail.filePublishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.publishDate')}}:{{ detail.publishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.implementDate')}}:{{ detail.implementDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.abolishTime')}}:{{ detail.disabledDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}:{{ detail.disabledDate }}
{{$t('standardDetail.belongOrg')}}:{{ detail.organName }}
{{ file.tagName }}
{{ (detail.isOpen == 1 && detail.hasCnPdf == true) ? $t('standardDetail.previewCn') : '不公开' }}
{{$t('standardDetail.previewEn')}}
{{ detail.isSale == 1 ? $t('organization.purchase') : $t('organization.notPurchasable') }}
{{$t('organization.complaint')}}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}
{{ timelineRecordSep }}
{{ date }}
{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }}
当前
{{ meta.label }}:
{{ meta.value }}
{{$t('standardDetail.categoryInfo')}}
{{$t('standardDetail.icsNo')}}
{{ detail.icsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.ccsNo')}}
{{ detail.ccss1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}}
{{ detail.ccsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.developInfo')}}
{{$t('standardDetail.draftingUnit')}}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
-
{{$t('standardDetail.drafter')}}
{{ name }}
{{ drafterText }}
-
{{$t('standardDetail.applicableScope')}}
{{$t('standardDetail.mainContent')}}
{{ detail.mainContent || '-' }}
{{$t('standardDetail.scope')}}
{{ detail.scope || '-' }}
{{$t('standardDetail.hasPatent')}}
{{ detail.isPatentName || '-' }}