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ICS
31
团体标准
T/EDASQUARE 024—2025
化学机械抛光模型格式
2025-11-05发布
2025-09-12实施
上海电子设计自动化发展促进会 发布
现行
T/EDASQUARE 024—2025
化学机械抛光模型格式
Chemical Mechanical Polish Model Format
公布日期:2025-11-05
发布日期:2025-09-12
实施日期:2025-09-12
所属团体:上海电子设计自动化发展促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
-
国民经济分类
I 信息传输、软件和信息技术服务业 -> I65 软件和信息技术服务业 -> I6520 集成电路设计
研制信息
起草单位
中国科学院微电子研究所
杭州广立微电子股份有限公司
全芯智造技术有限公司
上海概伦电子股份有限公司
杭州华芯程科技有限公司。
起草人
陈 岚
阚 欢
张 锐
秦兆慧
谢煜威
陆 毅
赵永林
孟晓东
吴灿灿
杨博文
陈 敖
陆仁杰。
范围
主要技术内容
本文件规定了化学机械抛光模型格式标准,包括接口数据、数据结构、字段定义等。适用于晶圆制造领域化学机械抛光仿真工具以及与模型校准工具开发,以及与其他工具集成。
适用范围
是否包含专利
否
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