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ICS
31
团体标准
T/IAWBS 019—2023
半导体设备前端模块
2023-11-15发布
2023-11-20实施
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 发布
现行
T/IAWBS 019—2023
半导体设备前端模块
Equipment front end module
公布日期:2023-11-15
发布日期:2023-11-13
实施日期:2023-11-20
所属团体:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-550 电子产品生产设备
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
北京锐洁机器人科技有限公司
天津锐洁芯导机器人有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
北京燕东微电子科技有限公司
华海清科(北京)科技有限公司
SMC(中国)有限公司
起草人
刘冬梅
王 强
安国栋
李 彤
鲁 翠
王 勇
赵海洋
李剑锋
刘福生
周 磊
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。
适用范围
本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。
是否包含专利
是
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