主要技术内容
4 要求
4.1 外观
4.1.1 膜卷
膜卷应收卷整齐、松紧一致，无接头、跑边、皱筋、划伤、切口毛边、油污及任何影响适用性的缺陷。
4.1.2 表面缺陷
表面缺陷应符合表1要求。
4.2 尺寸及偏差
4.2.1 厚度偏差
产品公称厚度范围一般在15μm～23μm，厚度偏差应符合表2的要求。
4.2.2 宽度和长度偏差
应符合表3的要求。
4.3 物理性能
应符合表4的要求。
适用范围
本文件规定了光致抗蚀干膜用聚酯基膜（以下简称“基膜”）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
适用于以聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂为主要原料，添加适量母料，经熔融挤出、双向拉伸工艺制成的用于光致抗蚀干膜用途的聚酯薄膜的生产、检验和销售。
是否包含专利
是
