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ICS
71
团体标准
T/DLSHXH 007—2022
电子特气 三氟碘甲烷
2022-09-30发布
2022-10-20实施
大连市石油和化工行业协会 发布
现行
T/DLSHXH 007—2022
电子特气 三氟碘甲烷
公布日期:2022-09-30
发布日期:2022-09-30
实施日期:2022-10-20
所属团体:大连市石油和化工行业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
71 化工技术 -> 71.100 化工产品 -> 71.100.20 工业气体
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C26 化学原料和化学制品制造业 -> C266 专用化学产品制造 -> C2662 专项化学用品制造
研制信息
起草单位
大连科利德光电子材料有限公司
大连市石油和化工行业协会
起草人
施旖旎
赵银凤
李庆东
张 蓉
李文博
王明月
姜 涛
范围
主要技术内容
本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。 本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料,经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀。
适用范围
是否包含专利
否
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