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ICS
21
团体标准
T/CSA 093—2024
MOCVD设备 气体管路加热系统 技术规范
2025-02-21发布
2024-11-21实施
中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟) 发布
现行
T/CSA 093—2024
MOCVD设备 气体管路加热系统 技术规范
MOCVD equipment—Gas Line Heating System—Technical specification
公布日期:2025-02-21
发布日期:2024-11-21
实施日期:2024-11-21
所属团体:中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟)
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
21 机械系统和通用件 -> 21.020 机器、装置、设备的特性和设计
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中关村半导体照明联合创新重点实验室
厦门三安光电有限公司
东莞市志橙半导体材料有限公司
北京大学
晶能光电股份有限公司
安泰天龙钨钼科技有限公司
北京大学东莞光电研究院
中国科学院半导体研究所
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
中国计量大学
广东省东莞市质量监督检测中心。
起草人
汪国元
郭世平
金文彬
姜 勇
徐圆圆
余 湛
刘建明
朱佰喜
陈兆营
涂 逵
陈福鸽
刘 强
胡国新
陆文强
李本亮
徐苏楠。
范围
主要技术内容
本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统(以下简称“气体加热系统”)的技术要求和试验方法。 本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。
适用范围
本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统(以下简称“气体加热系统”)的技术要求和试验方法。 本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。
是否包含专利
否
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