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ICS
25
团体标准
T/CMES 39004—2024
半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范
2024-10-23发布
2024-08-01实施
中国机械工程学会 发布
现行
T/CMES 39004—2024
半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范
公布日期:2024-10-23
发布日期:2024-07-01
实施日期:2024-08-01
所属团体:中国机械工程学会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.040 工业自动化系统 -> 25.040.40 工业过程的测量和控制
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C41 其他制造业 -> C419 其他未列明制造业
研制信息
起草单位
东华大学
上海应用技术大学
上海交通大学
深圳优艾智合机器人科技有 限公司
上海轩田智能科技股份有限公司
上扬软件(上海)有限公司
通富微电子股份有限公司
洪启集成电路(珠海)有限公司。
起草人
张 洁
吴立辉
周亚勤
张 朋
秦 威
陈 达
边 旭
陈远明
吕凌志
缪小勇
张启华
吕佑龙
汪俊亮
郑小虎
丁司懿。
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体晶圆制造智能工厂集成电路制造过程中生产物流调度涉及到的相关数据通用规范,包括架构、生产资源要求、基础数据模型、状态数据模型和物流调度业务过程数据模型。
适用范围
是否包含专利
否
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