登录
注册
首页
政策文件
标准化活动
社会团体
团体标准
抽查公示
常见问题
联系我们
首页
>
团体标准
>
团体标准详情
ICS
25
团体标准
T/CEPEA 0102—2024
真空晶圆搬运机械手技术规范
2025-12-19发布
2026-01-01实施
中国电子专用设备工业协会 发布
现行
T/CEPEA 0102—2024
真空晶圆搬运机械手技术规范
Technical specification for vacuum wafer handling manipulator
公布日期:2025-12-19
发布日期:2025-12-19
实施日期:2026-01-01
所属团体:中国电子专用设备工业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.040 工业自动化系统 -> 25.040.01 工业自动化系统综合
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3563 电子元器件与机电组件设备制造
研制信息
起草单位
泓浒(苏州)半导体科技有限公司
电子科技大学
北京中电科电子装备有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
甬矽电子(宁波)股份有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
起草人
林 坚
王 彭
吴 军
郭 东
黎微明
徐玉鹏
李志强
衣忠波
钟 磊
苏云姗
范围
主要技术内容
本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100 mm~300 mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求(外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性)、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标。
适用范围
是否包含专利
否
{{$t('common.home')}}
>
团体标准
>
团体标准详情
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
预览模式,未正式公布,仅供预览使用!
{{ detail.standardStatusName }}
{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}
{{ detail.standardNo }}
{{ detail.standardTitleCn }}
{{ detail.standardTitleEn }}
{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}:{{ detail.filePublishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.publishDate')}}:{{ detail.publishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.implementDate')}}:{{ detail.implementDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.abolishTime')}}:{{ detail.disabledDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}:{{ detail.disabledDate }}
{{$t('standardDetail.belongOrg')}}:{{ detail.organName }}
{{ file.tagName }}
{{ (detail.isOpen == 1 && detail.hasCnPdf == true) ? $t('standardDetail.previewCn') : '不公开' }}
{{$t('standardDetail.previewEn')}}
{{ detail.isSale == 1 ? $t('organization.purchase') : $t('organization.notPurchasable') }}
{{$t('organization.complaint')}}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}
{{ timelineRecordSep }}
{{ date }}
{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }}
当前
{{ meta.label }}:
{{ meta.value }}
{{$t('standardDetail.categoryInfo')}}
{{$t('standardDetail.icsNo')}}
{{ detail.icsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.ccsNo')}}
{{ detail.ccss1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}}
{{ detail.ccsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.developInfo')}}
{{$t('standardDetail.draftingUnit')}}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
-
{{$t('standardDetail.drafter')}}
{{ name }}
{{ drafterText }}
-
{{$t('standardDetail.applicableScope')}}
{{$t('standardDetail.mainContent')}}
{{ detail.mainContent || '-' }}
{{$t('standardDetail.scope')}}
{{ detail.scope || '-' }}
{{$t('standardDetail.hasPatent')}}
{{ detail.isPatentName || '-' }}