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ICS
27
团体标准
T/CPIA 0065—2024
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备
2024-04-15发布
2024-03-15实施
中国光伏行业协会 发布
现行
T/CPIA 0065—2024
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备
公布日期:2024-04-15
发布日期:2024-03-10
实施日期:2024-03-15
所属团体:中国光伏行业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
27 能源和热传导工程 -> 27.160 太阳能工程
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C38 电气机械和器材制造业 -> C382 输配电及控制设备制造 -> C3825 光伏设备及元器件制造
研制信息
起草单位
中国电子技术标准化研究院
理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
隆基绿能科技股份有限公司
湖南红太阳光电科技有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
无锡帝科电子材料股份有限公司
杭州福斯特应用材料股份有限公司
江苏乾景睿科新能源有限公司
浙江润海新能源有限公司
江苏爱康能源研究院有限公司
起草人
王赶强
王慧慧
庄天奇
马哲国
卢俊雄
吴易龙
江 伟
朱海剑
张洪旺
周光大
朱 晨
刘松民
周春华
谈剑豪
范围
主要技术内容
本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料,例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
适用范围
是否包含专利
否
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