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ICS
31
团体标准
T/ZOIA 30001—2022
MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
2022-12-29发布
2022-12-29实施
中关村光电产业协会 发布
现行
T/ZOIA 30001—2022
MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
公布日期:2022-12-29
发布日期:2022-12-29
实施日期:2022-12-29
所属团体:中关村光电产业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.260 光电子学、激光设备
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C3990 其他电子设备制造
研制信息
起草单位
中国科学院微电子研究所
中关村光电产业协会
天津大学
北京绿色制造产业联盟
凌云光技术股份有限公司
北京大学
中国计量科学研究院
北京总部企业协会
起草人
陈晓梅
霍树春
卢永红
胡春光
杨 艺
曲 扬
杨 芳
施玉书
马晓雪
谷焱绯
范围
主要技术内容
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。 本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
适用范围
是否包含专利
否
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