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ICS17

团体标准

T/BEA 40005—2024

GAM500气体分析仪校准规范

2024-10-28发布2024-10-31实施

北京电子仪器行业协会发布

现行 T/BEA 40005—2024

GAM500气体分析仪校准规范

Calibration specification for GAM500 gas analyzer

公布日期：2024-10-28 发布日期：2024-09-20 实施日期：2024-10-31

所属团体：北京电子仪器行业协会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 17 计量学和测量、物理现象 -> 17.020 计量学和测量综合

中国标准分类 -

国民经济分类 M 科学研究和技术服务业 -> M74 专业技术服务业 -> M745 质检技术服务 -> M7453 计量服务

研制信息

起草单位北京东方计量测试研究所

起草人柏向春余　荣王　欢杨　振杨　阳眭瑞涛刘　迪杨廷凯朱振良

范围

主要技术内容 4 概述 4.1 原理 GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。 4.2 构造 GAM500 气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。图1 GAM500气体分析仪原理图 4.3 用途 GAM500 气体分析仪可在大气环境下对充入 He、Kr 或 CF4 等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。 5 计量特性最小可检漏率 6 校准条件 6.1 环境条件 a) 环境温度：23℃±5℃； b) 相对湿度：≤80%； c) 周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。 6.2 校准用气体纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。 6.3 校准用设备校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1 校准用仪器设备及性能要求序号仪器设备名称技术要求 1 电容薄膜真空计测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。； 2 小孔流导元件测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s 最大允许误差：±10% 7 校准项目最小可检漏率。 8 校准方法 8.1 校准原理 GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为： ?Q = pC (1) 式中： Q——标准气体微流量，Pa?m3/s； p——小孔流导元件的入口压力，Pa； C——小孔流导元件的流导值，m3/s。将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量值与其在GAM500气体分析仪上对应的示值实现校准。GAM500气体分析仪的校准原理图见图2。 1—气体微流量计（虚线框内的部分），2—高纯气体，3、5、9—阀门， 4—抽气系统，6—真空室，7—压力计，8—限流元件。图2 GAM500气体分析仪校准原理图 8.2 校准步骤 8.2.1 校准前准备 a) 将气体微流量计通过阀门9和GAM500气体分析仪连接。 b) 启动GAM500气体分析仪，稳定1h以上，使其处于正常工作状态； c) 启动抽气系统4，打开阀门5、3和9，将真空室及连接管路抽至本底。 8.2.2 校准步骤 a) 关闭阀门9，测量并记录GAM500气体分析仪的本底示值和噪声，和均取一段时间内的平均值，测量时间应大于等于1min； b) 打开阀门9，调节气体微流量计，向GAM500气体分析仪输入特定的示漏气体流量（一般在（1×10-8～1×10-9）Pa?m3/s之间），待GAM500气体分析仪的示值稳定后，记录其示值。 c) 重复上述步骤，测量n组数据（n≥6）。 8.2.3 数据处理单次测得的被校准GAM500气体分析仪的最小可检漏率按公式（2）计算：（2）式中： —第次测量的GAM500气体分析仪的最小可检漏率，Pa?m3/s； —第次GAM500气体分析仪的噪声，Pa?m3/s； —第次GAM500气体分析仪的示值，Pa?m3/s； —第次GAM500气体分析仪的本底，Pa?m3/s； —标准流量值，Pa?m3/s。 GAM500气体分析仪最小可检漏率的算术平均值由公式（3）计算，作为GAM500气体分析仪最小可检漏率的校准值：（3）式中： —被校准GAM500气体分析仪的平均最小可检漏率，Pa?m3/s； —测量次数。 9 校准结果表达经校准的GAM500气体分析仪，应给出最小可检漏率值及其相对扩展不确定度。原始记录内页格式参见附录B，校准证书内页格式参见附录C。 10 复校时间间隔 GAM500气体分析仪的复校时间间隔一般不超过12个月。

适用范围

是否包含专利否

预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！

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