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ICS
31
团体标准
T/EDASQUARE 025—2025
掩模准备数据格式
2025-11-05发布
2025-09-12实施
上海电子设计自动化发展促进会 发布
现行
T/EDASQUARE 025—2025
掩模准备数据格式
Mask Composer Tool Output Data Standard
公布日期:2025-11-05
发布日期:2025-09-12
实施日期:2025-09-12
所属团体:上海电子设计自动化发展促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
-
国民经济分类
I 信息传输、软件和信息技术服务业 -> I65 软件和信息技术服务业 -> I6520 集成电路设计
研制信息
起草单位
中国科学院上海光学精密机械研究所
上海概伦电子股份有限公司
中国科学院微电子研究所
杭州广立微电子股份有限公司
苏州培风图南半导体有限公司
北京华大九天科技股份有限公司
全芯智造技术有限公司
广东工业大学
南京大学。
起草人
李思坤
吴灿灿
陈 岚
阚 欢
周洁云
刘晓明
卓立文
孟晓东
沈逸江
邹宁睦。
范围
主要技术内容
本文件规范了掩模准备数据输出文件格式及输出信息格式。 本文件适用于晶圆制造领域掩模版生产与使用。
适用范围
是否包含专利
否
{{$t('common.home')}}
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{{ detail.standardStatusName }}
{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}
{{ detail.standardNo }}
{{ detail.standardTitleCn }}
{{ detail.standardTitleEn }}
{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}:{{ detail.filePublishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.publishDate')}}:{{ detail.publishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.implementDate')}}:{{ detail.implementDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.abolishTime')}}:{{ detail.disabledDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}:{{ detail.disabledDate }}
{{$t('standardDetail.belongOrg')}}:{{ detail.organName }}
{{ file.tagName }}
{{ (detail.isOpen == 1 && detail.hasCnPdf == true) ? $t('standardDetail.previewCn') : '不公开' }}
{{$t('standardDetail.previewEn')}}
{{ detail.isSale == 1 ? $t('organization.purchase') : $t('organization.notPurchasable') }}
{{$t('organization.complaint')}}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}
{{ timelineRecordSep }}
{{ date }}
{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }}
当前
{{ meta.label }}:
{{ meta.value }}
{{$t('standardDetail.categoryInfo')}}
{{$t('standardDetail.icsNo')}}
{{ detail.icsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.ccsNo')}}
{{ detail.ccss1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}}
{{ detail.ccsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.developInfo')}}
{{$t('standardDetail.draftingUnit')}}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
-
{{$t('standardDetail.drafter')}}
{{ name }}
{{ drafterText }}
-
{{$t('standardDetail.applicableScope')}}
{{$t('standardDetail.mainContent')}}
{{ detail.mainContent || '-' }}
{{$t('standardDetail.scope')}}
{{ detail.scope || '-' }}
{{$t('standardDetail.hasPatent')}}
{{ detail.isPatentName || '-' }}