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ICS
17
团体标准
T/CATSI 09010—2021
光学真空腔体洁净度检测规范
2021-08-26发布
2021-08-25实施
中国技术监督情报协会 发布
现行
T/CATSI 09010—2021
光学真空腔体洁净度检测规范
公布日期:2021-08-26
发布日期:2021-08-25
实施日期:2021-08-25
所属团体:中国技术监督情报协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
17 计量学和测量、物理现象 -> 17.180 光学和光学测量 -> 17.180.01 光学和光学测量综合
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C40 仪器仪表制造业 -> C404 光学仪器及眼镜制造 -> C4041 光学仪器制造
研制信息
起草单位
北京大学
广东省新兴激光等离子体技术研究院
上海交通大学
北京世华尖锋科技有限公司
埃地沃兹贸易(上海)有限公司
北京中凯威科技发展有限责任公司
北京欣瑞拓科技有限公司
上海米雾环保技术有限公司
北京锐德康科技有限公司
起草人
赵家瑞
马文君
颜学庆
朱 昆
林 晨
赵研英
袁忠喜
徐圣宣
耿易星
牛化瑞
陈式有
高 营
寿寅任
王科栋
陈黎明
陈 民
王贵毅
许 坚
张殿伟
杨大荥
李 昂
莫一心
范围
主要技术内容
第 3章 术语、定义和缩略语 为便于对标准的理解与执行,本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。 第4章 真空腔体污染物 本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型,包括油脂、液滴、表面氧化物等。 第5章 洁净度标准 本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。 第6章 检测准备 本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。 第7章 检测与结果 本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。 附录A 附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
适用范围
是否包含专利
否
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