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ICS
71
团体标准
T/GVS 015—2024
远程等离子体源的解离率测试方法
2024-11-05发布
2024-10-10实施
广东省真空学会 发布
现行
T/GVS 015—2024
远程等离子体源的解离率测试方法
Test method for dissociation rate of remote plasma source
公布日期:2024-11-05
发布日期:2024-10-10
实施日期:2024-10-10
所属团体:广东省真空学会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
71 化工技术 -> 71.040 分析化学 -> 71.040.99 有关分析化学的其他标准
中国标准分类
-
国民经济分类
M 科学研究和技术服务业 -> M74 专业技术服务业 -> M745 质检技术服务 -> M7452 检测服务
研制信息
起草单位
季华实验室
江苏神州半导体科技有限公司
华南师范大学
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
中山凯旋真空科技股份有限公司。
起草人
胡 强
陈泽廷
郭晓东
杨振怀
黄星星
苏垦英
肖永能
郭远军
何 斌
黎天韵
张清培
黄小婵
朱国俊
潘小刚
乐卫平
金名亮
刘 涛
林桂浩
林伟群
何志军
张文杰
卫红。
范围
主要技术内容
规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。
适用范围
本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中,通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。
是否包含专利
否
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