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ICS
31
团体标准
T/GISIA 004—2025
微纳米压印光刻技术规范
2025-12-11发布
2025-12-01实施
中关村国联绿色产业服务创新联盟 发布
现行
T/GISIA 004—2025
微纳米压印光刻技术规范
Technical Specification for Nanoimprint Lithography
公布日期:2025-12-11
发布日期:2025-11-30
实施日期:2025-12-01
所属团体:中关村国联绿色产业服务创新联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-030 电子技术专用材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C352 化工、木材、非金属加工专用设备制造 -> C3525 模具制造
研制信息
起草单位
南通理工学院
江苏优众微纳半导体科技有限公司
海安南京大学高新技术研究院
南通市产品质量监督检验所
南通大学。
起草人
丁海琴
李 宁
姜银方
秦同春
居法银
崔玲玲
李志伟
张 捷
唐少春
贾国栋
吉 光
邵 彪
陈奕璇
石 健
顾晓敏
解复冬
鲍玉萍
江飞飞。
范围
主要技术内容
本文件规定了微纳米压印光刻的术语定义、基本原则、工艺流程、技术要求、工艺控制、监测评价及质量管理等内容,提出了涵盖温度、压力、能量、时间等工艺参数的设定方法,明确了对准精度、图形保真度、残留层厚度等核心技术指标的控制要求。本文件给出了关键组件的性能指标,构建了数据追踪与闭环控制体系,建立了融合结构尺寸、表面形貌、缺陷密度、材料固化与模具状态等多维度的质量框架,为微纳米压印光刻工艺的规范化设计和规模化应用提供技术依据。
适用范围
本文件适用于采用热压印、紫外压印、混合压印等方式制备微纳米结构的科研、生产和工程应用。
是否包含专利
否
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