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ICS23

团体标准

T/GVS 010—2022

真空卷绕镀膜设备通用技术要求

2022-09-23发布2022-09-23实施

广东省真空学会发布

现行 T/GVS 010—2022

真空卷绕镀膜设备通用技术要求

Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant

公布日期：2022-09-23 发布日期：2022-09-23 实施日期：2022-09-23

所属团体：广东省真空学会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 23 流体系统和通用件 -> 23.160 真空技术

中国标准分类 -

国民经济分类 C 制造业 -> C34 通用设备制造业 -> C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 -> C3441 泵及真空设备制造

研制信息

起草单位广东腾胜科技创新有限公司中山凯旋真科技股份有限公司广东生波尔光电技术有限公司。

起草人朱刚毅朱刚劲杨容军陈家发吴　洽李晓刚姜翠宁徐从高。

范围

主要技术内容规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。

适用范围本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。

是否包含专利否

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