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ICS71

团体标准

T/CPCIF 0334—2024

电子工业用气体氟氮混合气

2024-06-04发布2024-06-01实施

中国石油和化学工业联合会发布

现行 T/CPCIF 0334—2024

电子工业用气体氟氮混合气

Gases for the electronics industry—Fluorine nitrogen mixture

公布日期：2024-06-04 发布日期：2024-03-01 实施日期：2024-06-01

所属团体：中国石油和化学工业联合会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 71 化工技术 -> 71.100 化工产品 -> 71.100.20 工业气体

中国标准分类 -

国民经济分类 C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造

研制信息

起草单位福建永晶科技股份有限公司洛阳森蓝化工材料科技有限公司四川红华实业有限公司山东华夏神舟新材料有限公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司浙江中宁硅业股份有限公司福建三明金氟化工科技有限公司三明学院浙江博瑞中硝科技有限公司衢州杭氧特种气体有限公司天津绿菱气体有限公司福建省建阳金石氟业有限公司江苏南大光电材料股份有限公司上海栎智半导体科技有限公司上海云必科技有限公司北京国化新材料技术研究院有限公司天津环材标准化服务有限公司。

起草人刘春花阎晓冬刘　欣丁　勇吴　俊徐清钢郭秋雨周　锋赵　斌张　蒙肖旺钏付铁柱毛玲玲汤　萍应韵进王新喜潘华杰李安林彭雪丽。

范围

主要技术内容项目氟（F2）含量（体积分数）/10-2 氮（N2）含量（体积分数）/10-2 氧（O2）含量（体积分数）/10-6 四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6 六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6

适用范围本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气。

是否包含专利否

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