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ICS
31
团体标准
T/EDASQUARE 010—2024
光源-掩模联合优化数据输入格式规范
2024-12-16发布
2024-09-22实施
上海电子设计自动化发展促进会 发布
现行
T/EDASQUARE 010—2024
光源-掩模联合优化数据输入格式规范
Data structure for Source Mask Co-optimization
公布日期:2024-12-16
发布日期:2024-09-21
实施日期:2024-09-22
所属团体:上海电子设计自动化发展促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
-
国民经济分类
I 信息传输、软件和信息技术服务业 -> I65 软件和信息技术服务业 -> I651 软件开发 -> I6511 基础软件开发
研制信息
起草单位
广东工业大学
全芯智造技术有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
墨研计算科学(南京)有限公司
中国科学院微电子所研究院
深圳市海思半导体有限公司。
起草人
沈逸江
孟晓东
施伟杰
沈 忱
崔绍春
陈 岚
陈 容
董 哲
张 薇
林 薇
刘云举
刘娅琳
王亚丽。
范围
主要技术内容
本文件规范了光源-掩模联合优化数据输入格式的数据结构。 本文件适用于晶圆制造领域,包括晶圆制造厂(涵盖存储和逻辑芯片制造)本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自28nm技术节点开始,以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。
适用范围
是否包含专利
否
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