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ICS
31
团体标准
T/TMAC 417—2026
中束流离子注入机能量精度控制技术规范
2026-07-01发布
2026-06-01实施
中国技术市场协会 发布
现行
T/TMAC 417—2026
中束流离子注入机能量精度控制技术规范
公布日期:2026-07-01
发布日期:2026-06-01
实施日期:2026-06-01
所属团体:中国技术市场协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.080 半导体分立器件 -> 31.080.01 半导体器分立件综合
中国标准分类
L 电子元器件与信息技术 -> L95/99 电子工业生产设备 -> L97 加工专用设备
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)
北京中研博采技术服务有限公司
北京六只猫创意科技有限公司
北京彬诚科技有限公司
郑州桐晟技术服务有限公司
起草人
梁立振
胡星光
焦新玉
夏卫彬
范围
主要技术内容
本标准针对中束流离子注入机能量精度控制需求,明确其总体技术架构与基础规范,规定设备在中等束流区间及中等能量范围内的能量设定误差、能量重复性、能量稳定性、束流密度均匀性及注入角度偏差等关键技术与性能指标,要求具备高精度能量输出、快速闭环反馈及长期运行稳定性的特征,确保在不同工艺条件下实现半导体掺杂的一致性与可控性,并满足洁净室环境、电磁兼容及排放限值要求。 同时规范了设备运行过程中的功能单元管理、高压加速平台调控及动态聚焦控制流程,明确了能量设定、实时反馈、能量校正、剂量调节及气体回收各环节的技术要求,制定了能量设定误差、能量分辨率、输出能量精度、能量漂移及长期稳定性等关键指标的试验验证方法,对检验分类、抽样方案、判定规则及文件记录管理作出具体规定,覆盖中束流离子注入机从设计研发、生产制造、出厂检验、现场安装调试至退役维护的全生命周期管理要求。
适用范围
适用于中束流离子注入机的设计、制造、检测、验收。
是否包含专利
否
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