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ICS
31
团体标准
T/SICA 008—2025
半导体IBO套刻设备验收规范
2025-06-05发布
2025-07-03实施
上海市集成电路行业协会 发布
现行
T/SICA 008—2025
半导体IBO套刻设备验收规范
Acceptance specification for semiconductor IBO overlay equipment
公布日期:2025-06-05
发布日期:2025-06-03
实施日期:2025-07-03
所属团体:上海市集成电路行业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
魅杰光电科技(上海)有限公司
上海市集成电路行业协会
国家集成电路创新中心
上海泛腾半导体技术有限公司
上海隐冠半导体技术有限公司
上海积塔半导体有限公司
上海芯上微装科技股份有限公司
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
上海市质量和标准化研究院
上海新微技术研发中心有限公司
拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司
复旦大学微电子学院
电子科技大学集成电路学院
浙江大学光电科学与工程学院
浙江驰拓科技有限公司
杭州立昂东芯微电子有限公司。
起草人
闫 波
夏雷云
尹 睿
温任华
胡伟雄
杨 波
江旭初
蔡洪涛
周钰颖
卢 姝
龚燕飞
吴茹茹
陈 鲲
张正敏
朱 婕
王 晨
卢红亮
李正国
孟凡涛
刘 柳
赵 强
张 奇
吴浩成
范围
主要技术内容
本文件规定了套刻量测设备验收的技术要求,包括图形测试的结构和原理、设备验收主要参数设备验收等。 本文件适用于以硅(Si)和锗(Ge)等为代表的第一代半导体、以砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)等为代表的第二代化合物半导体、以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等为代表的第三代半导体。
适用范围
是否包含专利
否
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