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ICS
31
团体标准
T/ICMTIA PHM0041—2025
集成电路用28纳米节点光掩模工艺规范
2025-12-23发布
2026-01-17实施
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 发布
现行
T/ICMTIA PHM0041—2025
集成电路用28纳米节点光掩模工艺规范
公布日期:2025-12-23
发布日期:2025-12-17
实施日期:2026-01-17
所属团体:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-030 电子技术专用材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造
研制信息
起草单位
郭贵琦
施维
葛海鸣
吕健
华志刚
周家万
李嘉
李弋舟
段聪
尤春
刘维维
廖奕凯
王佳悦。
起草人
广州新锐光掩模科技有限公司
无锡迪思微电子股份有限公司
无锡中微掩模电子有限公司
长沙韶光芯材科技有限公司
江苏路芯半导体技术有限公司
湖南普照信息材料有限公司。
范围
主要技术内容
集成电路光掩模28纳米节点制造标准是根据集成电路半导体先进节点芯片端应用要求,对光掩模技术指标及工艺要求采集、管理和使用等方面进行评估的一套准则。 如今,随着信息技术的迅速发展,集成电路制造业建设越来越踊跃,光掩模承载芯片设计最基础的数据信息,在信息保护、版权维护方面至关重要。因此建立先进半导体的28纳米节点光掩模制造标准,既可以有效规范先进光掩模材料的制造与管理,也有助于国内集成电路产业链的系统化发展。本标准旨在为国产光掩模制作单位建立一套科学完整合规评价体系提供参考,并希望可以推动国产光掩模制造产业持续优化和完善。 本文件规定了集成电路光掩模28纳米节点制造的技术指标、工艺要求、测量方法、检验规则和安全保障条件。 本文件适用于集成电路28纳米节点光掩模的制造。
适用范围
是否包含专利
否
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