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ICS77

团体标准

T/CNIA 0061—2020

硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

2021-12-08发布2020-08-01实施

中国有色金属工业协会发布

现行 T/CNIA 0061—2020

硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

公布日期：2021-12-08 发布日期：2020-05-27 实施日期：2020-08-01

所属团体：中国有色金属工业协会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 77 冶金 -> 77.040 金属材料试验 -> 77.040.01 金属材料试验综合

中国标准分类 -

国民经济分类 C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造

研制信息

起草单位洛阳中硅高科技有限公司亚洲硅业（青海）股份有限公司新特能源股份有限公司新疆协鑫新能源材料科技有限公司

起草人严大洲万　烨赵　雄楚东旭刘凤华蔡延国邱艳梅赵娟龙

范围

主要技术内容本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。本标准适用于硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的测定。各元素测定下限为0.01 ng/g。

适用范围

是否包含专利否

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