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ICS
31
团体标准
T/CI 1454—2026
集成电路用KrF光刻胶技术要求
2026-07-07发布
2026-02-13实施
中国国际科技促进会 发布
现行
T/CI 1454—2026
集成电路用KrF光刻胶技术要求
公布日期:2026-07-07
发布日期:2026-02-13
实施日期:2026-02-13
所属团体:中国国际科技促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-030 电子技术专用材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造 -> C3985 电子专用材料制造
研制信息
起草单位
国科天骥(山东)新材料有限责任公司
西安爱德克美新材料有限公司
重庆沃肯新材料科技股份有限公司
常州强力电子新材料股份有限公司
江苏先科半导体新材料有限公司
维思普新材料(苏州)有限公司
湃邦(浙江)新材料有限公司
福建永庚科技有限公司
美茵科技(无锡)有限公司
龙口联合化学股份有限公司
深圳市正宇兴电子有限公司
绵阳高新区达高特科技有限公司
江苏尚纯自动化技术有限公司
苏州威迈芯材半导体有限公司
起草人
许 箭
王辰军
杨 冰
钱晓春
朱柏燃
陈 华
徐 凤
ZHANG AIQIANG
薛志杰
季 维
邓 杨
冯 毅
杜明超
刘 斌
陈 哲
侯修泽
郑 雪
张学龙
李 雄
刘 风
李梦涛
陈仁治
朱冬念
姜一平
汪云峰
刘 丽
周书娟
孙 喆
丁迎霞
董首成
李 瑞
陈虹蓉
范围
主要技术内容
本文件规定了集成电路制造中使用的KrF光刻胶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
适用范围
本文件适用于0.25 μm及以下工艺节点的逻辑芯片、存储芯片等集成电路制造用KrF光刻胶产品。
是否包含专利
否
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