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ICS
29
团体标准
T/ZZB 3882—2024
等离子刻蚀机用硅环
2025-12-19发布
2025-01-02实施
浙江省质量协会 发布
现行
T/ZZB 3882—2024
等离子刻蚀机用硅环
Silicon ring for plasma etching machine
公布日期:2025-12-19
发布日期:2024-12-02
实施日期:2025-01-02
所属团体:浙江省质量协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
29 电气工程 -> 29.045 半导体材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造
研制信息
起草单位
浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司。
起草人
李长苏
祝建敏
刘志彪
郑小松
郭立华
密 思
曾 西
范明明
龚益文
祝 军
周 波
陈 东
李 熊
丁纺纺
刘永南
王少凡
曹 锐
黄鹏。
范围
主要技术内容
本文件规定了硅环的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件、订货单内容和质量承诺。 本文件适用于等离子刻蚀机用的p<100>直拉硅单晶加工成的直径200 mm~450 mm硅环。
适用范围
是否包含专利
否
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