起草单位
山西烁科晶体有限公司广纳四维(广东)光电科技有限公司通威微电子有限公司广州南砂晶圆半导体技术有限公司山西天成半导体材料有限公司西安博尔新材料有限责任公司山东粤海金半导体科技有限公司苏州清煜半导体科技有限公司宁波合盛新材料有限公司河北同光半导体股份有限公司中天晶科(宁波)半导体材料有限公司哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司雷鸟创新技术(深圳)有限公司北京亮亮视野科技有限公司上海鲲游科技有限公司华兴中科标准技术(北京)有限公司通标国华标准技术咨询(北京)有限公司
起草人
田 蕾殷祥凯李晓军徐 豹于国建仝晓刚王晓刚邓丽荣鲍慧强杨弥珺张文忠崔景光刘 蕾熊耀兴杨倩倩黄 寜杨牧轩宋红英潘琳茹周文婷陈增强武 雷赵丽丽欧阳琼林李宏伟李 勇楼歆晔李 华任国静张亚栋