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ICS
31
团体标准
T/CEPEA 0202—2023
8英寸双轴全自动单面晶圆减薄机
2025-01-22发布
2025-02-15实施
中国电子专用设备工业协会 发布
现行
T/CEPEA 0202—2023
8英寸双轴全自动单面晶圆减薄机
8-inch dual-axis fully automatic single-sided wafer grinder
公布日期:2025-01-22
发布日期:2025-01-22
实施日期:2025-02-15
所属团体:中国电子专用设备工业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-550 电子产品生产设备
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
江苏京创先进电子科技有限公司
洛阳传顺机械设备有限公司
苏州维嘉科技股份有限公司
沈阳和研科技股份有限公司
深圳西斯特科技有限公司
苏州博宏源机械制造有限公司
起草人
杨云龙
高金龙
孙志超
魏传波
沈海涛
张明明
张兴华
任明元
范围
主要技术内容
本文件界定了8英寸双轴全自动单面晶圆减薄机的术语和定义,确立了其主要结构和典型工作流程,规定了其使用环境,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和储存。其中主要技术要求包括加工能力、气浮主轴、测厚仪、承片台、磨轮、晶圆搬运和清洗单元、真空发生装置和人机交互系统。
适用范围
是否包含专利
否
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