首页 > 团体标准 >

ICS01

团体标准

T/ICMTIA SM006—2021

集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片

2021-05-31发布2021-07-30实施

中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布

现行 T/ICMTIA SM006—2021

集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片

公布日期：2021-05-31 发布日期：2021-05-31 实施日期：2021-07-30

所属团体：中关村集成电路材料产业技术创新联盟标准发布公告

分类信息

国际标准分类 01 综合、术语学、标准化、文献 -> 01.020 术语学(原则和协调配合)

中国标准分类 -

国民经济分类 C 制造业 -> C26 化学原料和化学制品制造业 -> C261 基础化学原料制造 -> C2614 有机化学原料制造

研制信息

起草单位上海新昇半导体科技有限公司武汉新芯集成电路制造有限公司上海华力微电子有限公司

起草人冯　天朱伟江董　彬罗梅芳黄柏喻时　寒夏　亮张　振涂新星陈菊英

范围

主要技术内容本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片。

适用范围

是否包含专利否

预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！

预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！

预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！预览模式，未正式公布，仅供预览使用！

{{ detail.standardStatusName }}

{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}

{{ detail.standardNo }}

{{ detail.standardTitleCn }}

{{ detail.standardTitleEn }}

{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}：{{ detail.filePublishDate || '-' }} {{$t('standardDetail.publishDate')}}：{{ detail.publishDate || '-' }} {{$t('standardDetail.implementDate')}}：{{ detail.implementDate || '-' }} {{$t('standardDetail.abolishTime')}}：{{ detail.disabledDate || '-' }} {{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}：{{ detail.disabledDate }}

{{$t('standardDetail.belongOrg')}}：{{ detail.organName }} {{ file.tagName }}

{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}

{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}

{{ date }}

{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }} 当前

{{ meta.label }}：{{ meta.value }}

{{$t('standardDetail.icsNo')}} {{ detail.icsl1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.ccsNo')}} {{ detail.ccss1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}} {{ detail.ccsl1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.draftingUnit')}} {{ part.text }} -

{{$t('standardDetail.drafter')}} {{ drafterText }} -

{{$t('standardDetail.mainContent')}} {{ detail.mainContent || '-' }}

{{$t('standardDetail.scope')}} {{ detail.scope || '-' }}

{{$t('standardDetail.hasPatent')}} {{ detail.isPatentName || '-' }}