主要技术内容
本标准从结构功能、使用条件和技术规范三个维度定义了集成电路装备用13.56MHz射频电源的通用技术规范。其中,结构功能阐述了集成电路装备用13.56MHz射频电源的系统组成和主要功能;使用条件阐述了集成电路装备用13.56MHz射频电源的温湿度、洁净度和供电等使用条件;技术规范给出了集成电路装备用13.56MHz射频电源的主要技术指标,这些技术指标主要依据国外顶尖射频电源厂商AE和MKS在8吋和12吋半导体厂的28nm以下先进制程上使用的最具代表,装机量最多的,最先进主流射频电源为对标,包括射频输出技术指标及实验方法、主要功能和试验方法为参照,并结合国内半导体制造装备厂对先进制程的实际需求及对13.56MHz射频电源的外观结构,安全性和可靠性需求,包装运输储存等给出了详细的技术规范。
适用范围
是否包含专利
否