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ICS
29
团体标准
T/IAWBS 003—2017
碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法
2018-04-18发布
2017-12-31实施
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 发布
现行
T/IAWBS 003—2017
碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法
公布日期:2018-04-18
发布日期:2017-12-20
实施日期:2017-12-31
所属团体:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
分类信息
国际标准分类
29 电气工程 -> 29.045 半导体材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造
研制信息
起草单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
瀚天天成电子科技(厦门)有限公司
全球能源互联网研究院
东莞天域半导体科技有限公司
北京天科合达半导体股份有限公司
中国电子科技集团公司第五十五研究所
起草人
冯 淦
陈志霞
钮应喜
张新河
李 赟
陆 敏
彭同华
刘振洲
范围
主要技术内容
本标准规定了碳化硅(4H-SiC)外延层载流子浓度的测定方法─汞探针电容-电压法。 本标准适用于单层同质碳化硅外延层载流子浓度的测量,要求测量的碳化硅外延层厚度必须大于测试偏压下耗尽层的宽度。载流子浓度测量范围为:1×1014 cm-3 ~5×1017 cm-3。 本标准也可适用于碳化硅衬底载流子浓度的测量。
适用范围
是否包含专利
否
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