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ICS23

团体标准

T/GVS 003—2021

真空表面处理工艺用离子源

2021-06-28发布2021-06-28实施

广东省真空学会发布

现行 T/GVS 003—2021

真空表面处理工艺用离子源

Ion source for vacuum surface treatment process

公布日期：2021-06-28 发布日期：2021-06-28 实施日期：2021-06-28

所属团体：广东省真空学会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 23 流体系统和通用件 -> 23.160 真空技术

中国标准分类 -

国民经济分类 C 制造业 -> C34 通用设备制造业 -> C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 -> C3441 泵及真空设备制造

研制信息

起草单位中山市博顿光电科技有限公司广东省中山市质量技术监督标准与编码所佛山市博顿光电科技有限公司南京茂莱光学科技股份有限公司江苏曙光光电有限公司中国科学院长春光学精密机械与物理研究所同济大学中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司暨南大学中国科学院上海技术物理研究所中国科学院大连化学物理研究所深圳市海目星激光智能装备股份有限公司深圳市杰普特光电股份有限公司烟台睿创微纳技术股份有限公司珠海光库科技股份有限公司广东振华科技股份有限公司广东腾胜真空技术工程有限公司成都兴南科技有限公司湘潭宏大真空技术股份有限公司成都南光机器有限公司成都西沃克真空科技有限公司上海嘉森真空科技有限公司四川四盛真空设备有限公司中山市北京理工大学研究院佛山市南海区长光智能制造研究院佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院岭南师范学院大恒新纪元科技股份有限公司江苏北方湖光光电有限公司南京波长光电科技股份有限公司南京英田光学工程股份有限公司润坤(上海)光学科技有限公司沈阳仪表科学研究院有限公司大鼎光学薄膜（中山）有限公司中山市众盈光学有限公司河源市众拓光电科技有限公司中山凯旋真空科技股份有限公司。

起草人冀　鸣叶俊文刘伟基宋治平陈建华孙倩倩谭　鑫王占山邵立伟杨海东孙桂红张振厚武国梁陈　刚邓淞文朱刚毅王华清闪雷雷焦宏飞王银河唐乾隆李全民周子元魏爱清高　虹李　进王　勇李小林黄翔鄂谢伟广杨淑爱黄　立易洪波吴秋生林秀刚赵　刚江　斌贾　楠梁　辰赵崇光王启佳梁永恒田灿鑫聂　鹏李晓刚潘丽珍。

范围

主要技术内容规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子源）。

适用范围本文件规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子源）。

是否包含专利否

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{{ detail.standardStatusName }}

{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}

{{ detail.standardNo }}

{{ detail.standardTitleCn }}

{{ detail.standardTitleEn }}

{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}：{{ detail.filePublishDate || '-' }} {{$t('standardDetail.publishDate')}}：{{ detail.publishDate || '-' }} {{$t('standardDetail.implementDate')}}：{{ detail.implementDate || '-' }} {{$t('standardDetail.abolishTime')}}：{{ detail.disabledDate || '-' }} {{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}：{{ detail.disabledDate }}

{{$t('standardDetail.belongOrg')}}：{{ detail.organName }} {{ file.tagName }}

{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}

{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}

{{ date }}

{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }} 当前

{{ meta.label }}：{{ meta.value }}

{{$t('standardDetail.icsNo')}} {{ detail.icsl1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.ccsNo')}} {{ detail.ccss1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}} {{ detail.ccsl1Name || '-' }}

{{$t('standardDetail.draftingUnit')}} {{ part.text }} -

{{$t('standardDetail.drafter')}} {{ drafterText }} -

{{$t('standardDetail.mainContent')}} {{ detail.mainContent || '-' }}

{{$t('standardDetail.scope')}} {{ detail.scope || '-' }}

{{$t('standardDetail.hasPatent')}} {{ detail.isPatentName || '-' }}