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ICS
81
团体标准
T/SDAMA 008—2025
碳化硅陶瓷晶舟
2025-03-17发布
2025-03-17实施
山东省新材料产业协会 发布
现行
T/SDAMA 008—2025
碳化硅陶瓷晶舟
Silicon carbide ceramic wafer boat
公布日期:2025-03-17
发布日期:2025-03-17
实施日期:2025-03-17
所属团体:山东省新材料产业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
81 玻璃和陶瓷工业 -> 81.060 陶瓷 -> 81.060.30 高级陶瓷
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C30 非金属矿物制品业 -> C307 陶瓷制品制造 -> C3073 特种陶瓷制品制造
研制信息
起草单位
山东华美新材料科技股份有限公司
山东大学
山东圣诺实业有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
山东依莱特硅业有限公司
山东省新材料产业协会
起草人
王明峰
王 东
石金旺
毕见强
周 强
赵佳彬
高 惠
李伟强
石 威
尹东胜
龚红宇
王伟礼
孙国勋
韩桂芳
郝文虎
崔 伟
李补忠
刘爱伟
王 克
周健华
王改云
范围
主要技术内容
本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。 本文件适用于应用于半导体集成电路(IC)制程,使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。
适用范围
是否包含专利
否
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