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ICS
21
团体标准
T/ICMTIA CM0035—2023
半导体硅材料制程装置用密封垫片
2024-01-18发布
2023-04-10实施
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 发布
现行
T/ICMTIA CM0035—2023
半导体硅材料制程装置用密封垫片
Sealing gasket for semiconductor silicon material process device
公布日期:2024-01-18
发布日期:2023-03-10
实施日期:2023-04-10
所属团体:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
21 机械系统和通用件 -> 21.140 密封件、密封装置
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C391 计算机制造 -> C3912 计算机零部件制造
研制信息
起草单位
江苏鑫华半导体材料科技有限公司
浙江国泰萧星密封材料股份有限公司
起草人
田 新
韩 锋
赵培芝
万首正
章佳红
吴益民
王文辉
范围
主要技术内容
半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到N12级高纯度的硅材料,原料和中间体的高纯度和生产环境的高洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。极微量的杂质混入对半导体的特性和芯片的良率均会造成极其严重的影响。因而在半导体材料和元件生产过程中对杂质必须进行严格控制。 垫片作为螺栓法兰密封组合装置中重要的组成部分,它的密封性能、可靠性和清洁度也同样影响着制程的稳定性和产品质量。密封垫片是半导体硅材料行业得到广泛应用且不可或缺的基础件,但国内外一直没有对用于制造半导体硅材料工艺装置和管道上的密封垫片作出明确的技术要求规范,如密封垫片的类型、质量要求、性能参数、清洁度要求等。 为了与现行行业相适应,也避免因垫片质量影响成品质量,特编制本文件。 本文件旨在确立半导体硅材料制程装置用密封垫片设计、制造、性能、选用所必须的要求。
适用范围
是否包含专利
否
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