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ICS
23
团体标准
T/GVS 017—2024
连续式光学磁控溅射镀膜设备
2024-12-25发布
2024-12-24实施
广东省真空学会 发布
现行
T/GVS 017—2024
连续式光学磁控溅射镀膜设备
Continuous optical magnetron sputtering coating equipment
公布日期:2024-12-25
发布日期:2024-12-24
实施日期:2024-12-24
所属团体:广东省真空学会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
23 流体系统和通用件 -> 23.160 真空技术
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C34 通用设备制造业 -> C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 -> C3441 泵及真空设备制造
研制信息
起草单位
广东省新兴激光等离子体技术研究院
等离子体装备科技(广州)有限公司
离子束(广州)装备科技有限公司
广州市尤特新材料有限公司。
起草人
朱 昆
李 彬
曹祯烨
曹健辉
刘嘉静
杨 锐
郑铭浩
周志宏。
范围
主要技术内容
规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。
适用范围
本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。
是否包含专利
否
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