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ICS
81
团体标准
T/CI 961—2025
半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
2025-07-25发布
2025-04-15实施
中国国际科技促进会 发布
现行
T/CI 961—2025
半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
Silicon carbide ceramic components for semiconductor equipment
公布日期:2025-07-25
发布日期:2025-04-15
实施日期:2025-04-15
所属团体:中国国际科技促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
81 玻璃和陶瓷工业 -> 81.060 陶瓷 -> 81.060.30 高级陶瓷
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
宁波伏尔肯科技股份有限公司
山田新材料集团有限公司
绍兴晶彩科技有限公司
广西三元华鑫特种陶瓷有限公司
江苏晶孚新材料科技有限公司。
起草人
徐 斌
徐勤龙
李 季
陈 诚
宋宝山
沈 赟
马 坤
罗统斌
薛振坤
袁洪峰。
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。
适用范围
本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。 本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。
是否包含专利
否
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