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ICS
31
团体标准
T/CSA 102—2025
异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法
2025-12-19发布
2025-10-30实施
中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟) 发布
现行
T/CSA 102—2025
异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法
公布日期:2025-12-19
发布日期:2025-10-30
实施日期:2025-10-30
所属团体:中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟)
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.080 半导体分立器件 -> 31.080.99 其他半导体分立器件
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造
研制信息
起草单位
北京大学东莞光电研究院
东莞市中镓半导体科技有限公司
广东省东莞市质量监督监测中心
深圳民爆光电股份有限公司
北京大学
中国科学院半导体研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
南京大学
京东方华灿光电(浙江)有限公司
中关村半导体照明联合创新重点实验室(宽禁带半导体超越照明材料与技术全国重点实验室)
普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司。
起草人
刘 强
吴载炎
丁晓民
庄文荣
李本亮
顾慧慧
颜建锋
康香宁
刘志彬
苏旭军
修向前
朱广敏
孙 昕
肖飞晨。
范围
主要技术内容
T/CSA 102—2025描述了使用白光干涉法测试异质外延单一结构的氮化镓外延层厚度的原理、试验条件、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度,以及试验报告。文件适用于异质外延氮化镓外延层厚度(范围为11 μm至43 μm)的测试。AlN、InN、AlGaN和InGaN在异质外延上的单一结构膜层厚度的测试也可参照本文件执行。
适用范围
是否包含专利
否
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