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ICS
25
团体标准
T/SZMES 3—2021
薄膜应力测定 基片弯曲法
2021-05-31发布
2021-06-01实施
深圳市机械工程学会 发布
现行
T/SZMES 3—2021
薄膜应力测定 基片弯曲法
Determination of the film stress—Substrate curvature method
公布日期:2021-05-31
发布日期:2021-05-28
实施日期:2021-06-01
所属团体:深圳市机械工程学会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.220 表面处理和镀涂 -> 25.220.01 表面处理和镀涂综合
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C33 金属制品业 -> C336 金属表面处理及热处理加工
研制信息
起草单位
深圳职业技术学院
天津职业技术师范大学
深圳市速普仪器有限公司
深圳大学
深圳市机械工程学会
深圳领威科技有限公司
广东省标准化研究院。
起草人
赵升升
廖强华
王红英
王铁钢
刘艳梅
张小波
杜建铭
章卫红
蔡恒志
梁舒洁
顾维鑫
汤悦荣。
范围
主要技术内容
本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义,包括:基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。 测量原理:测量基片在单面镀膜前后的曲率半径,基片初始曲率半径和基片(镀膜面)曲率半径,利用斯东尼(Stoney)公式,计算得出薄膜应力。
适用范围
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。 本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
是否包含专利
否
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