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ICS
31
团体标准
T/ZOIA 3013—2025
晶圆测试用探针卡技术规范
2026-05-21发布
2025-06-16实施
中关村光电产业协会 发布
现行
T/ZOIA 3013—2025
晶圆测试用探针卡技术规范
公布日期:2026-05-21
发布日期:2025-06-16
实施日期:2025-06-16
所属团体:中关村光电产业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造 -> C3989 其他电子元件制造
研制信息
起草单位
中国科学院微电子研究所
苏州矽利康测试系统有限公司
浙江微针半导体有限公司
北京冠中集创科技有限公司
中关村光电产业协会
起草人
李冠楠
郭兆国
曲 扬
周维虎
林 隆
沈军涛
周 岚
范围
主要技术内容
1)术语和定义 通过对国内外文献调研、与领域专家研讨,确定了本标准的探针卡、探针间距、针位、平坦度、接触电阻、漏电流、针压、过驱动、针径参数等专业词语的定义。 2)探针卡的分类和组成 概述了探针卡的主要分类包括悬臂式探针卡、垂直式探针卡、MEMS探针卡的介绍和示意图,以及探针卡的组成和相应的功能介绍。 3)技术要求 概述了探针卡的主要技术指标以及相应的指标要求,探针卡的寿命、探针卡的正常工作环境条件以及对探针卡的外观要求。 4)探针卡主要技术指标的检验 概述了针对探针卡的主要技术指标推荐的检验方式。 5)探针卡验收 概述了探针卡的出场检验方式和标志、包装、运输、贮存方面的要求。
适用范围
-
是否包含专利
否
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