主要技术内容
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GB/T 13173-2021 表面活性剂 洗涤剂试验方法
GB/T 15357-2014 表面活性剂和洗涤剂 旋转粘度计测定液体产品的粘度和流动性质
GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1 线宽 critical dimension（CD）
光刻过程中所形成的图形的尺寸。
4 测试环境要求
4.1 洁净度要求
制片环节（洁净度不低于GB/T 25915.1-2021规定的ISO 7级）。
测试环节（洁净度不低于GB/T 25915.1-2021规定的ISO 6级）。
4.2 环境条件
除非另有规定，测试应在下列条件下进行：
a)环境温度：23 ℃ ± 2 ℃；
b)相对湿度：30% ~ 70%；
c)大气压强：86 kPa ~ 106 kPa。
4.3 回温
样品取出后放置于常温环境下15 min。
4.4 储存要求
光刻胶的储存要求如下：
a)环境温度：5 ℃ ± 5 ℃；
b)相对湿度：30% ~ 70%。
光刻胶制得的样片（成膜前）的储存要求如下：
a)环境温度：23 ℃ ± 2 ℃；
b)相对湿度：30% ~ 70%。
5 测试方法
5.1 固含量
5.1.1 仪器
电子天平（推荐分辨率：1 mg，重复性：0.7 mg）。
5.1.2 测试条件
固含量测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 应在黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500 nm以下的光波。
5.1.3 测试步骤
参考GB/T 43793.1-2024中5固含量规定的测试方法，测试步骤如下：
a)使用电子天平称量培养皿质量，精确至± 1 mg，记为m；
b)取1 g ± 0.01 g样品于培养皿中，称其质量，精确至± 1 mg；记为M1；轻轻晃动容器使样品在培养皿（直径60 mm）皿底充分摊平，使其铺满底盖并保持液膜厚度均匀；
c)将盛有样品的培养皿放入已预先达到测试温度（110 ℃ ± 2 ℃）的热风循环烘箱内，测试时间为180 min ± 5 min；
d)从烘箱中取出盛有测试样品的培养皿，放入干燥器中冷却至室温，称其质量，精确至± 1 mg，该质量记为M2；
e)测试样品的固含量以X（质量分数）表示，按公式（1）计算：
（1）
式中:
M1——烘干前测试样品和培养皿的质量,单位为克(g)；
m——培养皿的质量,单位为克(g)；
M2——烘干后测试样品和培养皿的质量,单位为克(g)。
f)样品的固含量按步骤a) ~ 步骤e)进行3次测试,或同时进行3个样品测试，取平均值,保留3位有效数字；
g)必要时，可在玻璃皿中增加玻璃纤维纸，以增加样品分散均匀程度，具体操作为：取一张玻璃纤维纸，将其裁剪成40 mm – 50 mm，放置于培养皿中心处，使用电子天平称量培养皿与玻璃纤维纸总重量，记为m’；使用一次性吸管吸取1 g ± 0.01 g样品滴至玻璃纤维纸中心，使胶液随着玻璃纤维纸均匀分散开，称其质量，记为M1’。从烘箱中取出盛有测试样品的培养皿干燥冷却后，称其质量，记为M2’。其余测试步骤参照步骤c) ~ 步骤f)进行。
5.2 粘度
5.2.1 仪器与试剂
a) 恒温水槽（用于保持样品在温度25 ℃ ± 0.1 ℃以内）；
b) 旋转粘度计（推荐测试范围为：1 mPa·s ~ 105 mPa·s，精度：±1.0%，重复性：±0.2%），按照JJG 1002的规定检定和校准粘度计，其工作原理示意图见图1。
标引序号说明：
1——电机；
2——处理中心，提供转速和转子型号输入功能、粘度显示功能；
3——电机弹簧部件，提供主轴与电机弹簧之间角度偏差测量数据给处理中心；
4——温度测量装置；
5——保护套；
6——恒温液体；
7——烧杯；
8——转子。
图1 粘度计工作原理示意
5.2.2 测试条件
粘度测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 应在黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500 nm以下的光波。
5.2.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a)按照GB/T 13173-2021中第4章的规定制备和保存均匀的实验室样品，在室温下静置至空气泡消除；
b)取出测试样品，避免产生空气泡；
c)将盛有测试样品的容器置于恒温水箱中，直至测试样品温度达到选定的测试温度；
d)应按GB/T 15357-2014中6.3的规定选择转子、剪切速率和剪切时间；
e)将所选的转子放入测量容器内接到转轴上，转子浸在测试样品中心，测试样品液面在转子液位标线，并防止转子产生气泡；
f)选择适宜的转子和转速，使粘度计读数保持在20% ~ 80%范围内；
g)每次测试后，应用溶剂将容器和转子清洗、擦拭干净，应使用乙醇溶剂，晾干或吹干后再进行下一次测试；
h)连续进行测试粘度，记录3次测试的粘度值V1，V2，V3；
i)测试样品的粘度以V表示，按公式（2）计算：
（2）
式中:
V——平均粘度，单位为毫帕秒(mPa·s)；
V1，V2，V3——实测粘度数据，单位为毫帕秒(mPa·s)。
5.3 水分
5.3.1 仪器或试剂
测试仪器如下：
a) 水分仪：
基于卡尔·费休法，利用碘氧化二氧化硫时，需要一定量的水参加反应：
在电解过程中，电极反应如下：
卡尔费休试剂计量滴入反应池，与待测溶液中的水发生化学反应，该反应持续进行，不断消耗水，生成I-，一直到反应滴定终点，水分消耗完毕。此时停止滴定，从而通过计量已消耗的卡尔费休试剂体积来标定溶液中的水分含量。其示意图见图2。
标引序号说明：
1——控制、显示系统，包括电极探测单元、数据处理单元等；
2——试样注入口；
3——探测电极；
4——溶剂瓶；
5——滴定嘴；
6——滴定剂瓶。
图2 水分仪示意
b) 电子天平（推荐分辨率：0.001 g，重复性：0.7 mg）。
5.3.2 测试条件
水分测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 应在黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500 nm以下的光波。
5.3.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 打开水分仪，按照说明书的要求对仪器进行校准；
b) 使用注射器吸取适量的待测光刻胶，并利用电子天平称量待测液重量；
c) 将待测液注入到溶剂瓶中，并在电脑中输入待测光刻胶的重量，等待电脑自动判断滴定终点并计算结果；
d) 连续检测3次作为平行样，依次记录水分数据为：Wt1，Wt2，Wt3；
e) 测试样品的水分以Wt表示，按公式（3）计算：
（3）
式中:
Wt——平均水分，结果为百分比；
Wt1，Wt2，Wt3——单次实测水分数据。
5.4 过滤时间
5.4.1 仪器
测试仪器如下：
a) 天平（推荐分辨率：1 mg，重复性：0.7 mg）；
b) 秒表；
c) 自动过滤系统，其示意图见图3。
标引序号说明：
1——气压计；
2——气压泵；
3——储液罐；
4——滤膜；
5——烧杯；
6——天平。
图3 自动过滤系统工作原理示意
5.4.2 测试条件
过滤时间测试条件应符合以下规定：
a) 应符合测试环境要求规定；
b) 应在黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500 nm以下的光波；
c) 储液罐内部压力：恒压0.13 Mpa。
5.4.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 取200 g或500 g左右生产样，装入自动过滤系统的储液罐；
b) 拆下过滤装置，取出密封圈，用镊子选择测试产品对应滤膜（如，φ0.6 μm，φ1.2 μm）装入后填回密封圈，滤膜的大小需与密封圈的接触面完全匹配，确保覆盖所有需过滤的液体通道且不阻碍密封性。将过滤装置装回原位，下方天平放入烧杯后清零；
c) 储液罐压力大小设为0.13 Mpa，开始测试。记录实时过滤重量，如图4所示，取过滤速度趋于稳定的4个时间间隔?t的过滤曲线数据，获得4个时间间隔?t的过滤重量，依次记录为：M1，M2，M3，M4；若取样品重量为200 g，则时间间隔设为5 s，若取样品重量为500 g，则时间间隔设为10 s；
图4 过滤曲线示意
d) 测试样品的过滤速度以V表示，按公式（4）计算：
（4）
式中:
V——过滤速度，单位为克每秒（g/s）；
M1，M2，M3，M4——实测过滤重量，单位为克(g)；
?t——时间间隔，可为5 s或10 s。
5.5 线宽(CD)
5.5.1 仪器
显微镜（推荐放大倍率不应小于100倍，放大倍率准确度3%，重复性≤2%）。
5.5.2 测试条件
CD测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.5.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a)按产品规格书中定义的制片要求进行制片，其中，曝光成膜后的样品示意图如图5所示，图5提供了测试所需的必要图形元素示例，其中，距离中心点位2 cm ± 0.5 cm、应存在四处或以上、宽度为规格书中定义大小、长度能满足光学显微镜三次测量的方形区域；
标引序号说明：
1——CD测试位置；
2——膜厚、残膜率、颜色测试位置；
3——显像时间测试位置。
图5 测试样品示意图
b)使用光学显微镜每次在固定放大倍率下进行测定；
c)测试点位需要在距离中心点位2 cm ± 0.5 cm的方形区域，测试3次宽度，记录测试数据W1，W2，W3；
d)测试样品的线宽以W表示，按公式（5）计算：
（5）
式中:
W——平均线宽，单位为微米（μm）；
W1，W2，W3——实测线宽数据，单位为微米（μm）。
5.6 膜厚
5.6.1 仪器与试剂
按照以下步骤进行测试：
a) 接触式膜厚仪（推荐扫描长度0 ~ 1 mm，垂直测试范围0 ~ 1 mm，垂直分辨率：1 ?，探针压力0 ~ 3 mg），其工作原理示意图见图6；
图6 接触式膜厚仪工作原理示意
b) 显影液：推荐0.045% KOH。
5.6.2 测试条件
膜厚测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.6.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a)参考对应产品规格书中规定的制片条件进行基板的制作，将10 cm * 10 cm玻璃置于旋转涂布机上，以规格书中定义的中心转速进行旋转涂布；
b)涂布后进行真空干燥，然后放置于烘板并按照设定时间进行烘烤；
c)烘烤结束后冷却1 min，进行曝光，曝光成膜后的样品示意图如图5所示，图案距离中心点位 2 cm ± 0.5 cm。按照产品规格书中定义的中心曝光能量进行曝光，曝光结束后立刻进行显影，将显影后的基板进行烘烤；
d)烘烤结束冷却后使用接触式膜厚仪测膜厚:将要测量的玻璃基板放在测试平台上，测试探针移动至测试点位附近，设置测量参数（测量参数需要保证测量区域包含光刻胶涂层与玻璃表面），测量完成后对测量曲线进行处理读数（对低处的玻璃表面进行平齐处理，再对膜厚处进行读数），得到膜厚；
e)膜厚测量点位选取距离中心点位2 cm ± 0.5 cm的图案，测试3次，取平均值T1，T2，T3；
f)测试样品的膜厚以 表示，按公式（6）计算：
（6）
式中：
Thk——平均膜厚，单位微米(μm)；
T1，T2，T3——实测膜厚数据，单位微米(μm)。
5.7 残膜率
5.7.1 仪器与试剂
测试仪器与试剂如下:
a) 接触式膜厚仪（推荐扫描长度0 ~ 1 mm，垂直测试范围0 ~ 1 mm，垂直分辨率：1 ?，探针压力0 ~ 3 mg）；
b) 显影液：推荐使用0.045% KOH。
5.7.2 测试条件
残膜率测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.7.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a)将10 cm * 10 cm玻璃置于旋转涂布机上，以产品规格书中定义的中心转速进行旋转涂布；
b)涂布后进行真空干燥，然后放置于烘板并按照产品规格书中定义的设定时间进行烘烤；
c)烘烤结束后冷却1 min，进行曝光，曝光成膜后的样品示意图如图5所示，按照产品规格书中定义的中心曝光能量进行曝光，曝光结束后立刻进行显影，显影结束后使用接触式膜厚仪测量膜厚，膜厚测量点位选取距离中心点位2 cm ± 0.5 cm，测试2次，取平均值Thk1；
d)将显影后的基板进行后烘，后烘结束使用接触式膜厚仪测量膜厚, 膜厚测量点位选取距离中心点位2 cm ± 0.5 cm，测试2次，取平均值Thk2；
e)制片参数参考对应产品规格书中规定的制片条件进行基板的制作；
f)测试样品的残膜率以R表示，按公式（7）计算：
（7）
式中:
Thk1——后烘前的膜厚，单位为微米（μm）；
Thk2——后烘后的膜厚，单位为微米（μm）；
R——后烘前后膜厚变化的比率。
5.8 颜色
5.8.1 仪器
测试仪器如下：
a) 显微分光光度计（波长范围380 nm – 780 nm，波长间隔1 nm或5 nm，误差不应大于±0.5 nm，测光重复性应在1%以内）；
b) 接触式膜厚仪（推荐扫描长度0 ~ 1 mm，垂直测试范围0 ~ 1 mm，垂直分辨率：1 ?，探针压力0 ~ 3 mg）。
5.8.2 测试条件
颜色测试条件应符合以下规定：
a) 应符合测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.8.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 按产品说明书中要求中的三个膜厚进行涂布，真空干燥，前烘，曝光（曝光成膜后的样品示意图如图5所示，其中，距离中心点位2 cm ± 0.5 cm、存在四处或以上、大小为规格书中定义大小的方形区域，或全膜曝光），显影，后烘制片；
b) 使用显微分光光度计进行测试，测试点位需要在距离中心点位2 cm ± 0.5 cm，每个膜厚测试四次，记录如下数据：
x,y:CIE1931色标准(x，y)；
Y: CIE1931系统，穿透率与明视觉函数积分结果，可表为色阻穿透率；
穿透频谱：380 nm – 780 nm各波长穿透频谱。
c) 使用膜厚仪测试每个色片色度测试点位膜厚，每个膜厚测试四次，记录对应膜厚数据；
d) 数据处理，将膜厚与色坐标、Y值的测试数据通过最小二乘法进行线性回归方程构造可获得以下直线方程：
f(i) = ki + b （8）
其中，
k——斜率；
b——截距；
i，f(i)——分别为自变量和参变量，具体含义根据产品测试需要，可参考表1。
表1 线性回归方程变量表
参变量f(i) 自变量i
色坐标x 膜厚
色坐标y 膜厚
Y值 膜厚
输入产品规格书中定义的预期膜厚到相应的直线方程中，可获取对应的性能参数。
5.9 对比度
5.9.1 仪器
对比度测试仪（由光源、线偏振片、亮度计和暗室组成，测试仪暗场照度< 1 lx，光源亮度≥2000 cd/㎡，测试光源可为冷阴极荧光灯（CCFL）或卤素灯，亮度计的精度为0.001 cd/㎡，设备的空白状态消光比，即未放入样品，测量最大亮度与最小亮度之比应≥10000:1），其工作原理示意图见图7。
标引序号说明：
1——亮度计；
2——滤光片；
3——偏振片；
4——光源。
图7 对比度测试仪工作原理示意
打开测试设备使其预热，保证光源为稳定状态，调整偏振片位置和光源亮度，测试空白状态消光比。调节测量点位置并对样品进行测量，输出测试结果。
5.9.2 测试条件
对比度测试条件应符合以下规定：
a) 应符合测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.9.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 按产品规格书中制片要求进行涂布，真空干燥，前烘，曝光（全膜曝光），显影，后烘制片，制片测试膜厚应对应产品说明书中要求；
b) 对比度仪开机稳定后，需要进行自检，将测试光源亮度调整至3000 cd/㎡；
c) 对比度测试之前，连续测试10片该光阻所制的色片之对比度，记录对应10个最低亮度的值，取平均值，得到Lmin，后续该型号光阻均使用该平均值作为Lmin；
d) 测试1片该光阻所制的色片之对比度，测试3次，记录三次最大亮度，取平均值，得到Lmax；
e) 测试样品的对比度以CR表示，按公式（9）计算：
（9）
式中:
CR——对比度；
Lmax——测试平均最大亮度，单位为坎德拉每平方米(cd/m2)；
Lmin——平均最低亮度，单位为坎德拉每平方米(cd/m2)。
5.10 显像时间
5.10.1 仪器设备
显影机。
5.10.2 测试条件
显像时间测试条件应符合以下规定：
a) 应符合测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求；
c) 显影液温度23 ℃。
5.10.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 依据对应产品规格书，按照对应制片测试条件涂布，真空干燥，前烘；
b) 依据对应产品规格书曝光能量要求，选择对应能量进行曝光，曝光成膜后的样品示意图如图5所示，其中，在距离中心点位1 cm ± 0.5 cm，需要有至少一处空白区域；
c) 将色片置于显影机内，显影液温度23 ℃进行喷洒显影；
d) 从膜片接触显影液开始到掩膜版非透光方形区域色膜破开（距离中心点位1 cm ± 0.5 cm），记录下时间测试三次，获得时间T1，T2，T3；
e) 破显点的时间以T表示，按公式（10）计算：
（10）
式中:
T——平均破显点时间，单位为秒（s）；
T1，T2，T3——实测破显点时间数据，单位为秒（s）。
5.11 异物
5.11.1 仪器设备
光学显微镜。
5.11.2 测试条件
测试条件应符合以下规定：
a) 应符合4测试环境要求规定；
b) 制片应符合对应产品规格书定义条件要求。
5.11.3 测试步骤
按照以下步骤进行测试：
a) 依据对应产品规格书，按照对应制片测试条件涂布，真空干燥，前烘，选择对应能量进行曝光，曝光使用全膜曝光，显影，后烘制片；
b) 以肉眼及钠灯观察全膜试片有无微小凸起物，并计数；
c) 于全膜试片中央2 cm * 2 cm区域划分4个区块，每个区块的中心位置在光学显微镜下以×1000倍率之物镜使用穿透光进行观察，确认画面内的白点数目。
适用范围
是否包含专利
否
