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ICS
17
团体标准
T/GXDSL 366—2025
透明晶圆厚度均匀性检测与校准准则
2026-06-15发布
2025-12-31实施
广西电子商务企业联合会 发布
废止
即将废止
T/GXDSL 366—2025
透明晶圆厚度均匀性检测与校准准则
公布日期:2026-06-15
发布日期:2025-12-29
实施日期:2025-12-31
废止日期:2026-10-30
所属团体:广西电子商务企业联合会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
17 计量学和测量、物理现象
中国标准分类
-
国民经济分类
M 科学研究和技术服务业
研制信息
起草单位
浙江百盛光电股份有限公司
嘉兴海盛电子有限公司
中国科学院上海高等研究院
西北工业大学
中国科学院上海光学精密机械研究所
上海大学
深圳市创鑫激光股份有限公司
国营川西机器厂
上海卫星装备研究所工会
起草人
程 北
陈时兴
陈跃华
陈林英
马明阳
王佳颖
胡孝天
周安坡
彭从锋
卜志超
于慧杰
刘奇龙
陈江兵
董晓浩
张仕进
冷雨欣
廖 洋
冯杰才
马金栋
陈泰黎
彭效海
陈 明
陈文秀
胡加燕
张青青
范围
主要技术内容
本文件规定了透明晶圆厚度均匀性检测与校准的检测原理、检测条件、检测设备、检测步骤、数据处理与结果判定、校准方法、检验规则和检测报告的要求。 本文件适用于透明晶圆厚度均匀性的检测与校准活动。
适用范围
是否包含专利
否
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