主要技术内容
本文件描述了使用电感耦合等离子体质谱仪测定锗基前驱体中微量元素含量的测试方法（包括测试原理、试剂、仪器和设备、样品制备条件、试验方法、测试步骤、结果的计算与表述、正确度与精密度、质量保证和控制）。
适用范围
本文件适用于常温常压下为液态或者固态的锗基前驱体微量元素含量的测定，测定范围为2μg/kg～2000μg/kg。
注1：锗基前驱体通常以有机-无机配合物、溶胶或粉末形式存在；例如锗的卤化物前驱体、氧化物前驱体、有机锗前驱体、硅锗前驱体等[四乙基锗、四（二甲氨基）锗、二氯二甲基锗]；能通过热解、水解等反应转化为锗单质或其氧化物。
注2：测试的微量元素包括但不限于：硼（B）、钠（Na）、镁（Mg）、铝（Al）、钾（K）、钙（Ca）、钛（Ti）、钒（V）、铬（Cr）、锰（Mn）、铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、铜（Cu）、锌（Zn）、砷（As）、硒（Se）、锶（Sr）、钼（Mo）、镉（Cd）、锡（Sn）、锑（Sb）、钡（Ba）、铟（In）、铊（Tl）和铅（Pb）等元素。
是否包含专利
否
