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ICS
31
团体标准
T/WEA 105—2026
纳米级掩模版缺陷检测与容错率判定方法
2026-08-14发布
2026-07-01实施
中国智慧工程研究会 发布
现行
T/WEA 105—2026
纳米级掩模版缺陷检测与容错率判定方法
Nano-scale mask defect detection and fault tolerance evaluation method
公布日期:2026-08-14
发布日期:2026-06-24
实施日期:2026-07-01
所属团体:中国智慧工程研究会
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31.200 集成电路、微电子学
中国标准分类
L 电子元器件与信息技术 -> L90/94 电子设备与专用材料、零件、结构件 -> L90 电子技术专用材料
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
合光光掩模科技(安徽)有限公司
兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司
合肥知常光电科技有限公司
兴材半导体科技(绍兴)有限公司
常州兰利电器科技有限公司
起草人
张健澄
郑 毅
李宏雨
林玉明
曾振瑞
王兴平
邓觉为
潘国军
李红娇
吴雪云
范围
主要技术内容
本文件规定了纳米级掩模版缺陷检测与容错率判定的检测方法的分类、检测要求和缺陷容错率判定方法。
适用范围
本文件适用于所有先进技术节点(通常指28纳米及以下)的光掩模的缺陷检测与容错率判定。
是否包含专利
否
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