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ICS
27
团体标准
T/HBECP 0002—2026
半导体级臭氧发生器技术要求
2026-04-28发布
2026-04-15实施
河北省经济技术协作促进会 发布
现行
T/HBECP 0002—2026
半导体级臭氧发生器技术要求
Technical requirements for semiconductor—grade ozone generator
公布日期:2026-04-28
发布日期:2026-04-15
实施日期:2026-04-15
所属团体:河北省经济技术协作促进会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
27 能源和热传导工程 -> 27.180 风力发电系统和其他能源
中国标准分类
F 能源、核技术 -> F10/19 能源
国民经济分类
M 科学研究和技术服务业 -> M74 专业技术服务业 -> M745 质检技术服务 -> M7452 检测服务
研制信息
起草单位
青岛国林半导体技术有限公司
天津奥尔斯曼新能源科技有限公司
山东志伟智能制造集团有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
华海清科股份有限公司
拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
北京电控集成电路制造有限责任公司
上海陛通半导体能源科技股份有限公司
北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
杭州星原驰半导体有限公司
江苏亚电科技股份有限公司
上海至纯系统集成有限公司
浙江启尔机电技术有限公司
上海正帆科技股份有限公司
途邦认证有限公司
起草人
徐洪魁
姜传道
孙丽丽
杨小强
牛志宝
赵宏宇
许 璐
刘远航
鲍伟成
吕 欣
肖志强
周 真
金小亮
封拥军
李军竹
王 枫
禅 明
吴 均
邵大立
史皓然
李 刚
古智扬
毛 凯
李东升
冀 云
晨 萌
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体、面板领域应用的臭氧发生器的符号和缩略语、材料要求、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体、面板显示行业相关湿法清洗、薄膜沉积、氧化物生长、光刻胶去除等多个工艺领域应用的臭氧发生器。
适用范围
-
是否包含专利
否
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