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ICS19

团体标准

T/GVS 007—2022

射频电源动态阻抗测试方法

2022-07-11发布2022-07-11实施

广东省真空学会发布

现行 T/GVS 007—2022

射频电源动态阻抗测试方法

Test method for dynamic impedance of RF generator

公布日期：2022-07-11 发布日期：2022-07-11 实施日期：2022-07-11

所属团体：广东省真空学会标准发布公告

分类信息

国际标准分类 19 试验 -> 19.080 电工和电子试验

中国标准分类 -

国民经济分类 M 科学研究和技术服务业 -> M74 专业技术服务业 -> M745 质检技术服务 -> M7452 检测服务

研制信息

起草单位深圳市恒运昌真空技术有限公司广东工业大学大连理工大学拓荆科技股份有限公司。

起草人乐卫平林伟群姚志毅唐亚海林桂浩黄永镇刘　涛张桂东张赛谦郭　冬高飞。

范围

主要技术内容规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。

适用范围本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。

是否包含专利否

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