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ICS
31
团体标准
T/CASAS 068—2026
碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨
2026-06-01发布
2026-05-06实施
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布
现行
T/CASAS 068—2026
碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨
Isotropic porous graphite for silicon carbide wafer manufacturing
公布日期:2026-06-01
发布日期:2026-05-06
实施日期:2026-05-06
所属团体:北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
31 电子学 -> 31-030 电子技术专用材料
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C30 非金属矿物制品业 -> C309 石墨及其他非金属矿物制品制造 -> C3091 石墨及碳素制品制造
研制信息
起草单位
赛迈科先进材料股份有限公司
北京北方华创真空技术有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
湖南三安半导体有限责任公司
山东天岳先进科技股份有限公司
山西烁科晶体有限公司
广州南砂晶圆半导体技术有限公司
杭州海乾半导体有限公司
浙江大学
杭州光学精密机械研究所
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人
屈睿航
周 明
吴厚政
李 贺
吴周礼
刘育恒
高玉强
宁秀秀
侯晓蕊
侯晓蕊
袁毅凯
孔令沂
徐嶺茂
张 静
彭珍珍
高 伟
张逊熙
徐瑞鹏
范围
主要技术内容
本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。 本文件适用于纯度要求达到5 N 5(质量分数99.9995 %)以上的碳化硅单晶生长及外延用各向同性多孔石墨材料,以及用该材料制作的多孔石墨构件等。
适用范围
-
是否包含专利
否
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