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ICS
71
团体标准
T/ICMTIA 3—2020
集成电路用六氯乙硅烷
2020-02-24发布
2020-04-24实施
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 发布
现行
T/ICMTIA 3—2020
集成电路用六氯乙硅烷
Hexachlorodisilane for integrated circuit
公布日期:2020-02-24
发布日期:2020-02-24
实施日期:2020-04-24
所属团体:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
71 化工技术 -> 71.100 化工产品 -> 71.100.20 工业气体
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C26 化学原料和化学制品制造业 -> C266 专用化学产品制造 -> C2669 其他专用化学产品制造
研制信息
起草单位
洛阳中硅高科技有限公司
江苏南大光电材料股份有限公司
江苏雅克科技股份有限公司
中巨芯科技有限公司。
起草人
赵 雄
万 烨
严大洲
林俊元
崔 日
李 军
常 欣
赵 宇
张园园
郭树虎
张啸虎。
范围
主要技术内容
本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求,检测方法,包装与运输及安全的要求。其中,检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。
适用范围
本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中,也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料。
是否包含专利
否
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