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ICS
23
团体标准
T/SQCH 021—2026
原子层沉积工艺仿真建模方法
2026-08-07发布
2026-07-14实施
山西省中小企业发展促进会 发布
现行
T/SQCH 021—2026
原子层沉积工艺仿真建模方法
公布日期:2026-08-07
发布日期:2026-07-14
实施日期:2026-07-14
所属团体:山西省中小企业发展促进会
分类信息
国际标准分类
23 流体系统和通用件 -> 23.160 真空技术
中国标准分类
-
国民经济分类
M 科学研究和技术服务业 -> M73 研究和试验发展 -> M732 工程和技术研究和试验发展
研制信息
起草单位
中国科学院电工研究所
吉林大学
中国科学院微电子研究所
杭州邦齐州科技有限公司
北京澜紫微电子科技有限公司
牛津大学(苏州)科技有限公司
起草人
张 贺
段 羽
卢维尔
朱程亮
陈德熙
牛新雅
李艳丽
李传南
张凌云
潘亚婷
平奕晨
张 健
范围
主要技术内容
本文件规定了原子层沉积工艺仿真建模的基本要求、模型构建方法、模型验证与确认以及模型优化等内容。
适用范围
本文件适用于原子层沉积工艺仿真建模。
是否包含专利
否
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