主要技术内容
主要技术内容规定了从事锗烷（GeH₄）、乙硼烷（B₂H₆）、磷烷（PH₃）生产的电子特气企业的尾气排放控制、尾气处理系统技术、运行管理、污染物监测及实施与监督要求。包括
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 尾气排放控制要求
4.1 排放对象
4.2 排放方式
4.3 排放去向
4.4 排放限值
5 尾气处理系统技术要求
5.1 基本要求
5.2 系统构成
5.3 技术路线
6 运行管理
6.1 基本要求
6.2 维护保养
6.3 人员要求
6.4 应急处理
7 污染物监测要求
7.1 基本要求
7.2 过程监控
7.3 排气筒监控
8 实施与监督
附录A（规范性） 等效排气筒排放速率计算方法
A.1 等效排气筒计算的条件
A.2 两根排气筒等效的排放速率计算
A.3 多根排气筒等效排放速率计算方法
参考文献
适用范围
本标准适用于锗烷、乙硼烷、磷烷的合成、提纯、精馏、充装、尾气回收及废弃处置等全流程产生的尾气排放控制、运行与管理。
是否包含专利
否
